塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正方法
 
一、校正所需設(shè)備
1、100級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái)
2、一臺(tái)用于作對(duì)比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器
3、各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子
4、產(chǎn)生脫離水(DI水)的純水系統(tǒng)或類(lèi)似裝置
5、標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器
6、其它普通電器
二、校正的基本原理
標(biāo)準(zhǔn)粒子通過(guò)255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過(guò)0.2um的過(guò)濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路，這時(shí)，將兩臺(tái)相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對(duì)取樣管進(jìn)行抽樣測(cè)試，并比校0.3um粒徑的測(cè)試值。如果其平均值在20%以內(nèi)，認(rèn)為合格。如果不同型號(hào)的粒子計(jì)數(shù)器，一要弄清楚其流速，取樣時(shí)間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測(cè)試結(jié)果。塵埃 
三.、校正的基本步驟：
現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見(jiàn)的Royco HH200作校正
1、先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測(cè)試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘)，而Royco HH200則為0.1CFM。
2、將潔凈臺(tái)開(kāi)機(jī)，工作半小時(shí)，其間內(nèi)也打開(kāi)Royco 323和Royco HH200，讓其預(yù)熱半小時(shí)。
3、準(zhǔn)備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。
4、將配好的標(biāo)準(zhǔn)液(如0.301um)放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過(guò)噴嘴。
5、設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)
(1)取樣時(shí)間都設(shè)置為00：01：00
(2)取樣次數(shù)都設(shè)置03
(3)取樣模式都設(shè)置為Auto
(4)間隔時(shí)間都設(shè)置為00：00：05
(5)讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative
注：以上設(shè)置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測(cè)試結(jié)果會(huì)是Royco HH200的10倍。
6、打開(kāi)255電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計(jì)約60SCFH時(shí)后，保持其工作狀態(tài)。
7、讓Royco 323和Royco HH200同時(shí)工作，看其三次的平均結(jié)果，若在20%以內(nèi)，視為合格。
8、拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子，重復(fù)該測(cè)試。
9、以上校正只是對(duì)比校正，尚用萬(wàn)用表對(duì)其基本參數(shù)測(cè)量，用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來(lái)輔助調(diào)校。